장바구니 담기 close

장바구니에 상품을 담았습니다.

박막공학

박막공학

  • 김홍배
  • |
  • 우용출판사
  • |
  • 2013-01-17 출간
  • |
  • 246페이지
  • |
  • 188 X 254 X 20 mm /966g
  • |
  • ISBN 9788962490756
판매가

23,000원

즉시할인가

22,770

배송비

2,500원

(제주/도서산간 배송 추가비용:3,000원)

수량
+ -
총주문금액
22,770

이 상품은 품절된 상품입니다

※ 스프링제본 상품은 반품/교환/환불이 불가능하므로 신중하게 선택하여 주시기 바랍니다.

출판사서평




이 책은 박막기술의 기초가 되는 진공과학으로부터 시작하여 박막의 전자부품에서 응용에 이르기까지 박막공학의 여러 분야를 기초 개념부터 제작기술까지 기술하였으며 총 7장으로 구성하였다. 1장에서는 진공의 기초 원리에 대해 서술하였고, 2장에서는 진공을 형성하는데 필요한 진공펌프를 종류별로 설명하였다. 3장에서는 진공도를 측정할 때 쓰이는 진공게이지를 다루며, 4장에서는 플라즈마의 기초원리에서부터 플라즈마를 이용한 식각방법, 5장에서는 플라즈마를 이용한 박막의 제조방법에 대해 다룰 것이다. 6장에서는 박막을 측정하는 방법 중 AFM에 대해, 그리고 7장에서는 플라즈마 시뮬레이션에 대해 논의 할 것이다. 가능한 원어를 한글로 표기하고자 하였고, 부득이한 경우에는 원어로 표기하였으며 많은 그림과 데이터를 제공하여 이해를 돕고자 하였다.
플라즈마를 이용한 진공 박막기술은 초고속 집적회로, OLED, RFID, 나노재료 합성에 의한 신소재 개발 등의 첨단과학분야에서 적용되는 핵심 공정의 기반기술이다. 미래 첨단과학산업을 주도하는 위와 같은 분야에 요구되는 기술 전문인력의 수요는 지속적으로 증가하며, 박막 공정과정의 개발 및 전문 능력을 구비하는 요구도 커지고 있는 실정이다. 그러나 플라즈마를 이용한 진공 박막기술을 현장에서 적용 및 환류하기 위한 체계적인 교육과정과 관련 교육자료가 부족하며, 현장 기술자들이 쉽게 학습할 수 있는 교육자료에 대한 요구도 증가하고 있다.


목차


제 1 장 진공의 기초 원리
1. 진공의 성질 / 2. 압력 / 3. 기체의 법칙 / 4. 기체 분자 운동 / 5. 기체의 흐름 / 6. 전도도 / 7. 표면과 기타 효과
제 2 장 진공 펌프
1. 진공펌프의 기능과 종류 / 2. 오일 회전 진공펌프 / 3. 건식 진공 펌프 / 4. 확산 펌프 / 5. 터보 분자 펌프 / 6. 게터펌프 / 7. 스퍼터 이온 펌프 / 8. 섭션펌프 / 9. 크라이오 펌프
제 3 장 진공 게이지
1. 진공 게이지 / 2. 열전도형 게이지 / 3. 전리게이지
제 4 장 플라즈마의 이해
1. 플라즈마 / 2. 플라즈마 생성 / 3. 전·자장에서 하전입자의 운도 / 4. 플라즈마 특성 / 5. 플라즈마 생성장비 / 6. 플라즈마 식각
제 5 장 박막의 제조 방법
1. 진공 증착 / 2. 스퍼터링법 / 3. DC 스퍼터링 / 4. RF 스퍼터링 / 5. 미그네트론 스퍼터링 / 6. CVD
제 6 장 박막 측정
1. AFM(원자현미경)
제 7 장 플라즈마 시뮬레이션
1. 플라즈마 장비 설계 요소 / 2. 플라즈마 모델링 / 3. 전자장 해석 / 4. 가스 유동 해석 / 5. 열전달 해석 / 6. 기상 화학 반응 / 7. 표면 화학 반응 / 8. 디자인 해석 사례 및 유의점
참고문헌
찾아보기

교환 및 환불안내

도서교환 및 환불
  • ㆍ배송기간은 평일 기준 1~3일 정도 소요됩니다.(스프링 분철은 1일 정도 시간이 더 소요됩니다.)
  • ㆍ상품불량 및 오배송등의 이유로 반품하실 경우, 반품배송비는 무료입니다.
  • ㆍ고객님의 변심에 의한 반품,환불,교환시 택배비는 본인 부담입니다.
  • ㆍ상담원과의 상담없이 교환 및 반품으로 반송된 물품은 책임지지 않습니다.
  • ㆍ이미 발송된 상품의 취소 및 반품, 교환요청시 배송비가 발생할 수 있습니다.
  • ㆍ반품신청시 반송된 상품의 수령후 환불처리됩니다.(카드사 사정에 따라 카드취소는 시일이 3~5일이 소요될 수 있습니다.)
  • ㆍ주문하신 상품의 반품,교환은 상품수령일로 부터 7일이내에 신청하실 수 있습니다.
  • ㆍ상품이 훼손된 경우 반품 및 교환,환불이 불가능합니다.
  • ㆍ반품/교환시 고객님 귀책사유로 인해 수거가 지연될 경우에는 반품이 제한될 수 있습니다.
  • ㆍ스프링제본 상품은 교환 및 환불이 불가능 합니다.
  • ㆍ군부대(사서함) 및 해외배송은 불가능합니다.
  • ㆍ오후 3시 이후 상담원과 통화되지 않은 취소건에 대해서는 고객 반품비용이 발생할 수 있습니다.
반품안내
  • 마이페이지 > 나의상담 > 1 : 1 문의하기 게시판 또는 고객센터 1800-7327
교환/반품주소
  • 경기도 파주시 문발로 211 1층 / (주)북채널 / 전화 : 1800-7327
  • 택배안내 : CJ대한통운(1588-1255)
  • 고객님 변심으로 인한 교환 또는 반품시 왕복 배송비 5,000원을 부담하셔야 하며, 제품 불량 또는 오 배송시에는 전액을 당사에서부담 합니다.