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친절한 반도체

친절한 반도체

  • 선호정
  • |
  • 한올출판사
  • |
  • 2024-02-26 출간
  • |
  • 384페이지
  • |
  • 153 x 224 mm
  • |
  • ISBN 9791166474156
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출판사서평

 

반도체는 우리나라 산업에서 가장 큰 부분을 차지하는 것으로 알려져 있습니다. 많은 사람들이 반도체와 다양한 방식으로 연결되어 살아가고 있으며 전문적인 지식이 필요해서든 지적 호기심을 만족시키기 위해서든 반도체를 알고 싶어하는 분들이 많습니다.

이 책은 교양서 같기도 하고 전문서 같기도 하지만, 누구나 상식적인 과학 지식만 가지고 있다면 읽을 수 있는 교양 서적을 지향합니다. 이를 실현하기 위해 몇 가지 측면에서 주의를 기울였습니다.

우선 일상의 언어를 사용했습니다. 그렇더라도 전문적인 단어 사용을 배제하지 않았으며 전문 용어를 사용했을 때는 자세한 설명으로 이해를 도왔습니다. 또한 단원이 거듭되어 전개되는 내용의 흐름에 따라 점진적으로 용어를 등장시켜 자연스럽게 개념을 익힐 수 있도록 했습니다.

아무래도 집적 회로 제조 과정을 이해하려면 여러 과학적 배경지식이 필요합니다. 그때마다 관련 내용을 쉽게 풀어서 곁들였으니 이를잘 쫓아가면 본문을 읽어 나가는 데 큰 무리는 없을 것입니다.

이 책과 동일한 목적으로 출판된 좋은 도서가 있습니다. SK하이닉스 연구원들의 공동 작업으로 탄생한 《반도체 제조기술의 이해》(한올)입니다. 반도체 실무에 관한 귀한 지식을 담은 책입니다. 다만 일반인들이나 반도체 산업에 입문한 지 얼마 안 된 분들이 접근하기에는 쉽지 않은 내용이어서 어렵게 느껴질 수 있습니다.

이 책은 교양서이지만 본질적으로 《반도체 제조기술의 이해》와 동일한 내용을 다루고 있습니다. 따라서 그 사이 징검다리 역할을 할 수 있을 것으로 생각합니다. 

목차

 

추천사

 

프롤로그

 

Part 1. 반도체란

 

반도체의 본명은 집적 회로

● 집적 회로란?

● 집적 회로의 탄생사

● 초고집적 회로

 

우리 주변의 반도체

● 메모리 반도체

● 시스템 반도체

● 반도체 기업의 분류

 

메모리 반도체의 기억법

● 디지털 정보 저장 방법

● DRAM의 정보 저장 원리

● 메모리 용량 가늠하기

 

전자가 움직이는 방법

● 수학의 언어적 속성

● 물질의 전기 전도도

● 전기의 흐름을 다루기 위한 기초 지식

● 물체 안에서 전자가 움직이는 방법

 

다이아몬드 탈을 쓴 실리콘

● 원자의 생김새

● 실리콘 원자와 결정 구조

 

실리콘 반도체

● 이동 전하의 생성과 움직임

● 실리콘 반도체

● 실리콘 반도체 기판(웨이퍼)

 

트랜지스터 이야기

● MOS 트랜지스터

● p-n 접합

● CMOS

 

커패시터 이야기

● 원자 분극

● 이온 분극

● 커패시터의 전하 저장 원리

● 커패시터의 전기 용량

 

Part 2. 반도체와 건축

 

DRAM의 건축학

● 집적 회로는 건축물이다

● DRAM의 건축법

● 집적 회로 건축법의 기초

● DRAM 건축하기

 

DRAM 건축 양식의 변천사

● 셀 트랜지스터 건축 양식의 변천사

● 셀 커패시터 건축 양식의 변천사

 

DRAM 건축 완공하기

● DRAM 셀 구축하기

● DRAM 건축 완공하기

 

NAND 플래시 메모리의 기억법

● 셀 트랜지스터의 구조

● 정보 저장 원리

● 다중 비트 저장하기

 

NAND 플래시 메모리의 건축학

● 기본 셀의 구조

● 셀 트랜지스터 수직으로 세우기

● 3D NAND 플래시 메모리 셀의 제조 과정

 

시스템 반도체의 건축학

● 변형된 Si 게이트 MOSFET

● 고유전 상수 게이트 MOSFET

● FinFET과 GAAFET

● 다층 배선의 특징

● 집적 회로 건축학을 마무리하며

 

반도체와 미술

● 집적 회로 아키텍처와 미술

● 수학과 추상화

 

Part 3. 반도체 제조법

 

열산화와 이온 주입

● 실리콘의 열산화

● 이온 주입

● 급속 열처리

● MOS 트랜지스터 제조 과정 되짚어보기

 

화학으로 박막 입히기

● 화학 기상 증착

 

화학으로 만든 박막

● 플라즈마 강화 화학 기상 증착

● 금속의 화학 기상 증착

 

원자 한 층씩 쌓아올리기

● 원자층 증착

 

당구와 상감 청자

● 물리 기상 증착

● 전기 도금

 

박막 장비, 부품, 소재

● 박막 장비와 부품

● 박막 장비, 부품, 소재 관련 기업

 

빛으로 패턴 새기기

● 빛 이야기

● 포토리소그래피

● 노광의 원리와 분해능

 

빛 새김 기술의 발전사

● ArF 액침 노광

● 다중 패터닝

● EUV 노광

● 포토리소그래피 장비와 소재 관련 기업

 

패턴 깎아내기

● 수직 식각

● 식각

● 식각 장비, 부품, 소재와 관련 기업

 

갈아내고 닦아내기

● 화학적 기계적 연마

● 세정

 

에필로그

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