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2023 중소기업 기술국산화 전략품목 상세분석 반도체

2023 중소기업 기술국산화 전략품목 상세분석 반도체

  • 중소벤처기업부.중소기업기술정보진흥원
  • |
  • 진한엠앤비(진한M&B)
  • |
  • 2023-05-06 출간
  • |
  • 930페이지
  • |
  • 188x257x40mm(B5)/1767g
  • |
  • ISBN 9791129046666
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목차

1. 반도체 리페어 장치

2. 반도체 노광 공정 장치

3. 반도체 장치 및 부품

4. 반도체 증착 장치 및 부품

5. 반도체용 특수가스

6. 실리콘 웨이퍼

7. 반도체 세정 장치 및 부품

8. 반도체 측정 분석 검사 장치 및 부품

9. 전력(파워)반도체(PowerIC)

10. 루테늄(Ru) 박막의 ALD 전구체

11. 고효율 유무기 하이브리드 방열 소재

12. 식각장치용 컨트롤러 및 센서

13. 반도체 이온주입기

14. 반도체 이송 반송 모듈 및 장치

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