장바구니 담기 close

장바구니에 상품을 담았습니다.

CMP 웨이퍼 연마

CMP 웨이퍼 연마

  • 수리야데바라바부(SuryadevaraBabu)/장인배
  • |
  • 씨아이알
  • |
  • 2021-04-12 출간
  • |
  • 628페이지
  • |
  • 188 X 257 mm
  • |
  • ISBN 9791156109471
판매가

38,000원

즉시할인가

34,200

배송비

무료배송

(제주/도서산간 배송 추가비용:3,000원)

수량
+ -
총주문금액
34,200

※ 스프링제본 상품은 반품/교환/환불이 불가능하므로 신중하게 선택하여 주시기 바랍니다.

출판사서평



이 책은 화학-기계적 평탄화(CMP) 가공 분야의 현업에 종사하는 엔지니어들이 화학과 기계적인 관점뿐만 아니라 소재나 전기적인 관점에서 연마가공의 메커니즘을 이해할 수 있는 소중한 기회를 제공해준다.
현업에서 발생하는 다양한 문제들을 현상적인 측면에서만 다루지 않고 그 배후에 존재하는 물리적-화학적인 메커니즘을 이해하고, 체계적으로 해결방안을 찾아내는 과정에서 이 책이 소중한 자료로 활용될 수 있을 것이다.


목차


CHAPTER 1 유전체에 대한 화학-기계적 평탄화 가공의 물리학적 메커니즘

CHAPTER 2 22[nm] 후공정과 그 이후를 준비하는 구리소재에 대한 화학-기계적 평탄화 가공

CHAPTER 3 금속박막에 대한 화학-기계적 평탄화 가공을 위한 전기화학적 기법과 적용사례

CHAPTER 4 초저유전체에 대한 화학-기계적 평탄화 가공

CHAPTER 5 고이동도 채널소재에 대한 화학-기계적 평탄화 가공

CHAPTER 6 화학-기계적 평탄화 가공에 대한 다중스케일 모델링

CHAPTER 7 탄화규소 박막의 연마가공

CHAPTER 8 질화갈륨에 대한 화학-기계적 평탄화 가공의 물리화학적 메커니즘

CHAPTER 9 연마제를 사용하지 않거나 극소량만을 사용하는 화학-기계적 연마가공

CHAPTER 10 평탄화 공정의 환경적 측면

CHAPTER 11 화학-기계적 평탄화 가공용 슬러리의 특성과 제조방법

CHAPTER 12 화학-기계적 평탄화 가공의 품질을 평가하기 위한 화학계측방법

CHAPTER 13 다이아몬드 디스크를 사용한 패드 컨디셔닝

CHAPTER 14 산화물에 대한 화학-기계적 연마가공 중 FTIR 분광법을 사용한 표면분석

CHAPTER 15 새로운 화학-기계적 평탄화 가공용 슬러리 공급 시스템

CHAPTER 16 화학-기계적 연마가공의 제거율 균일성과 캐리어인자의 역할

CHAPTER 17 결함분석, 결함완화 및 저감

CHAPTER 18 무어의 법칙을 초월하는 디바이스에 대한 화학-기계적 평탄화 가공의 적용

CHAPTER 19 상변화 소재에 대한 화학-기계적 평탄화 가공

교환 및 환불안내

도서교환 및 환불
  • ㆍ배송기간은 평일 기준 1~3일 정도 소요됩니다.(스프링 분철은 1일 정도 시간이 더 소요됩니다.)
  • ㆍ상품불량 및 오배송등의 이유로 반품하실 경우, 반품배송비는 무료입니다.
  • ㆍ고객님의 변심에 의한 반품,환불,교환시 택배비는 본인 부담입니다.
  • ㆍ상담원과의 상담없이 교환 및 반품으로 반송된 물품은 책임지지 않습니다.
  • ㆍ이미 발송된 상품의 취소 및 반품, 교환요청시 배송비가 발생할 수 있습니다.
  • ㆍ반품신청시 반송된 상품의 수령후 환불처리됩니다.(카드사 사정에 따라 카드취소는 시일이 3~5일이 소요될 수 있습니다.)
  • ㆍ주문하신 상품의 반품,교환은 상품수령일로 부터 7일이내에 신청하실 수 있습니다.
  • ㆍ상품이 훼손된 경우 반품 및 교환,환불이 불가능합니다.
  • ㆍ반품/교환시 고객님 귀책사유로 인해 수거가 지연될 경우에는 반품이 제한될 수 있습니다.
  • ㆍ스프링제본 상품은 교환 및 환불이 불가능 합니다.
  • ㆍ군부대(사서함) 및 해외배송은 불가능합니다.
  • ㆍ오후 3시 이후 상담원과 통화되지 않은 취소건에 대해서는 고객 반품비용이 발생할 수 있습니다.
반품안내
  • 마이페이지 > 나의상담 > 1 : 1 문의하기 게시판 또는 고객센터 1800-7327
교환/반품주소
  • 경기도 파주시 문발로 211 1층 / (주)북채널 / 전화 : 1800-7327
  • 택배안내 : CJ대한통운(1588-1255)
  • 고객님 변심으로 인한 교환 또는 반품시 왕복 배송비 5,000원을 부담하셔야 하며, 제품 불량 또는 오 배송시에는 전액을 당사에서부담 합니다.